Berapa keseragaman pengendapan film tipis?
Keseragaman lapisan tipis mengacu pada konsistensi distribusi ketebalan lapisan tipis di seluruh wafer. Keseragaman yang baik berarti bahwa ketebalan lapisan tipis sangat rapat di setiap posisi pada wafer.
Apa saja jenis keseragaman lapisan tipis?
Secara umum, jenis-jenis berikut dipertimbangkan:
●Keseragaman dalam wafer: Keseragaman dalam satu wafer.
●Keseragaman wafer-ke-wafer: Keseragaman antara wafer yang berbeda.
●Keseragaman antar lot: Keseragaman antara berbagai kelompok wafer.
Bagaimana keseragaman dihitung?
Mengambil keseragaman dalam wafer sebagai contoh, deviasi standarnya dihitung menggunakan rumus:
Rumus ini menghitung akar kuadrat dari rata-rata selisih kuadrat antara setiap titik data dan rata-rata data.
σ (simpangan baku): Mewakili derajat penyebaran data; makin besar simpangan baku, makin besar pula penyebarannya.
NJumlah total titik data yang diukur.
waktu: Nilai ketebalan titik data ke i.
Berarti: Nilai rata-rata semua titik data.
(ti−Rata-rata)^2: Perbedaan kuadrat antara setiap titik data dan rata-rata.
∑: Penjumlahan.
Rumusnya agak sulit dipahami, jadi berikut ini contohnya:
Misalkan kita memiliki sekumpulan titik data ketebalan film tipis: 55,1, 54,8, 55,3, 54,9, 55.0, 54,7, 55,2, 54,9, 55,1, 54,8.
●Pertama, hitunglah rata-rata 10 poin ini: Rata-rata=54.98.
●Kemudian, hitunglah selisih kuadrat antara setiap ketebalan dan nilai rata-ratanya: {{0}}.0144, 0.0324, {{10}}.1024, 0.0004, 0,0004, 0,0784, 0,0484, 0,0004, 0,0144, 0,0324.
●Jumlahkan selisih kuadrat ini dan temukan rata-ratanya: (0.0144 + 0.0324 + 0.1024 + 0.0004 + 0.0004 + 0.0784 + 0.0484 + 0.0004 + 0.0144 + 0.0324)=0.3996.
●Terakhir, hitunglah simpangan baku: σ=0.193.