Di mana bantalan pemoles wafer silikon digunakan?

Wafer yang dipoles adalah produk yang paling banyak digunakan, dan produk wafer silikon lainnya diproduksi melalui pemrosesan sekunder berdasarkan wafer yang dipoles.
Wafer yang dipoles adalah wafer silikon yang paling dasar dan banyak digunakan. Wafer yang dipoles dapat langsung digunakan untuk membuat perangkat semikonduktor, banyak digunakan dalam chip memori dan perangkat daya, dan juga dapat digunakan sebagai bahan substrat untuk wafer epitaksi, wafer silikon SOI, dan jenis wafer silikon lainnya.
Dengan menyusutnya lebar garis karakteristik sirkuit terpadu secara terus-menerus dan presisi litografi yang semakin halus, ketidakrataan yang sangat kecil pada wafer silikon akan menyebabkan deformasi dan dislokasi grafik sirkuit terpadu. Teknologi manufaktur wafer silikon menghadapi persyaratan dan tantangan yang semakin tinggi. Ukuran partikel dan kebersihan permukaan chip juga berdampak langsung pada hasil produk semikonduktor.
Oleh karena itu, proses pemolesan sangat penting untuk meningkatkan kerataan dan kebersihan permukaan wafer silikon. Prinsip utamanya adalah mencapai planarisasi permukaan wafer silikon semikonduktor dan mengurangi kekasaran dengan menghilangkan lapisan sisa kerusakan pada permukaan yang diproses.